Accuris Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Pruefung der Biege-Ermuedungsfestigkeit von Duennschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei... DIN EN 62047-12

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Halbleiterbauelement e - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Pruefung der Biege-Ermuedungsfest igkeit von Duennschichtwerkstof fen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen (IEC 62047-12:2011); Deutsche Fassung EN 62047-12:
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Halbleiterbauelement e - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Pruefung der Biege-Ermuedungsfest igkeit von Duennschichtwerkstof fen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen (IEC 62047-12:2011); Deutsche Fassung EN 62047-12:
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Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Pruefung der Biege-Ermuedungsfestigkeit von Duennschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei... - DIN EN 62047-12 - Accuris
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Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Pruefung der Biege-Ermuedungsfestigkeit von Duennschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei...
DIN EN 62047-12
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