Pruefung von Materialien fuer die Halbleitertechnologi
| Accuris | |
|---|---|
| Product Category | Standards and Technical Documents |
| Product Number | DIN 50455-1 |
| Product Name | Pruefung von Materialien fuer die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Charakterisierung von Fotolacken - Teil 1: Bestimmung der Schichtdicke mit optischen Messverfahren |